1. Definicija sustava za rasuti plin:
Skladištenje i kontrola tlaka inertnih plinova Vrste plinova: Tipični inertni plinovi (dušik, argon, komprimirani zrak itd.)
Veličina cjevovoda: Od 1/4 (cjevovod za nadzor) do glavnog cjevovoda od 12 inča
Glavni proizvodi sustava su: membranski ventil/mijeh/kuglasti ventil, konektor visoke čistoće (VCR, zavarivanje), konektor s ferulom, ventil za regulaciju tlaka, manometar itd.
Trenutno, novi sustav uključuje i sustav za specijalni plin u rasutom stanju, koji koristi fiksne plinske boce ili cisterne za skladištenje i transport.
2. Definicija sustava za pročišćavanje:
Uklanjanje nečistoća iz rasutih plinova za plinovode visoke čistoće
3. Definicija plinskih ormara:
Omogućiti kontrolu tlaka i praćenje protoka za posebne izvore plina (toksični, zapaljivi, reaktivni, korozivni plinovi) te imati mogućnost zamjene plinskih boca.
Lokacija: Smješteno na podstropju ili donjem katu za skladištenje posebnih plinova Izvor: NF3, SF6, WF6 itd.
Veličina cjevovoda: Unutarnji plinovod, općenito 1/4 inča za procesni cjevovod, 1/4-3/8 inča uglavnom za cjevovod za pročišćavanje dušikom visoke čistoće.
Glavni proizvodi: Visokočistoćni membranski ventili, nepovratni ventili, manometri, manometri, visokočistoćni konektori (VCR, oblik za zavarivanje) Ovi plinski ormari u osnovi sadrže mogućnosti automatskog prebacivanja boca kako bi se osigurala kontinuirana opskrba plinom i sigurna zamjena boca.
4. Definicija distribucije:
Spajanje izvora plina na zavojnicu za skupljanje plina
Veličina cjevovoda: U tvornici čipsa, veličina cjevovoda za distribuciju plina općenito se kreće od 1/2 inča do 2 inča.
Oblik spajanja: Posebni plinovodi se uglavnom spajaju zavarivanjem, bez ikakvih mehaničkih spojeva ili drugih pokretnih dijelova, uglavnom zato što zavareni spoj ima jaku pouzdanost brtvljenja.
U tvornici čipova postoje stotine kilometara cijevi spojenih za prijenos plina, koje su u osnovi duge oko 6 metara i zavarene zajedno. Vrlo su česti i neki zavoji cijevi i cijevne zavarene veze.
5. Višenamjenska kutija s ventilima (kutija razdjelnika ventila, VMB) Definicija:
Služi za distribuciju posebnih plinova od izvora plina do različitih krajeva opreme.
Unutarnja veličina cjevovoda: procesni cjevovod od 1/4 inča i cjevovod za pročišćavanje od 1/4 - 3/8 inča. Sustav može koristiti računalno upravljanje kako bi zahtijevao aktivirane ventile ili jeftinije situacije s ručnim ventilima.
Sistemski proizvodi: visokočisti membranski ventili/mijehovi ventili, nepovratni ventili, visokočisti spojevi (VCR, mikro-zavarivanje), ventili za regulaciju tlaka, manometri i tlakomjeri itd. Za distribuciju nekih inertnih plinova uglavnom se koristi Valve Manifold Panel - VMP (višenamjenski ventilski disk) koji ima otvorenu površinu plinskog diska i ne zahtijeva dizajn zatvorenog prostora i dodatno pročišćavanje dušikom.
6. Definicija sekundarne ploče/kutije ventila (ploče za spajanje alata):
Spojite plin potreban za poluvodičku opremu od izvora plina do kraja opreme i osigurajte odgovarajuću regulaciju tlaka. Ova ploča je sustav za regulaciju plina koji je bliži kraju opreme nego VMB (višenamjenska kutija ventila).
Veličina plinovoda: 1/4 - 3/8 inča
Veličina cjevovoda za tekućinu: 1/2 - 1 inč
Veličina ispusnog cjevovoda: 1/2 - 1 inč
Glavni proizvodi: membranski ventil/mijeh ventil, jednosmjerni ventil, ventil za regulaciju tlaka, manometar, manometar, spoj visoke čistoće (VCR, mikro-zavarivanje), spoj s ferulom, kuglasti ventil, crijevo itd.
Vrijeme objave: 22. studenog 2024.