1. Definicija plinskog sustava:
Skladištenje i kontrola tlaka inertnih plinova Vrste plinova: Tipični inertni plinovi (dušik, argon, komprimirani zrak, itd.)
Veličina cjevovoda: od 1/4 (cjevovod za praćenje) do glavnog cjevovoda od 12 inča
Glavni proizvodi sustava su: membranski ventil/ventil s mijehom/kuglasti ventil, konektor visoke čistoće (VCR, oblik za zavarivanje), konektor ferule, ventil za regulaciju tlaka, manometar itd.
Trenutačno, novi sustav također uključuje rasuti specijalni plinski sustav, koji koristi fiksne plinske boce ili kamione cisterne za skladištenje i transport.
2. Definicija sustava pročišćavanja:
Uklanjanje nečistoća iz rasutih plinova za plinovode visoke čistoće
3. Definicija plinskih ormara:
Osigurati kontrolu tlaka i nadzor protoka za posebne izvore plina (otrovni, zapaljivi, reaktivni, korozivni plinovi), te imati mogućnost zamjene plinskih boca.
Lokacija: nalazi se na podu fabrike ili na donjem katu za skladištenje posebnih plinova Izvor: NF3, SF6, WF6, itd.
Veličina cjevovoda: unutarnji plinovod, općenito 1/4 inča za procesni cjevovod, 1/4-3/8 inča uglavnom za cjevovod za pročišćavanje dušikom visoke čistoće.
Glavni proizvodi: membranski ventili visoke čistoće, nepovratni ventili, mjerači tlaka, mjerači tlaka, priključci visoke čistoće (VCR, zavareni oblik) Ovi plinski ormari u osnovi sadrže mogućnosti automatskog prebacivanja za cilindre kako bi se osigurala kontinuirana opskrba plinom i sigurna zamjena cilindara.
4. Definicija distribucije:
Spajanje izvora plina na zavojnicu za skupljanje plina
Veličina linije: U tvornici čipova, veličina plinovoda za distribuciju plina općenito se kreće od 1/2 inča do 2 inča.
Oblik spoja: Posebni plinovodi općenito se spajaju zavarivanjem, bez ikakvih mehaničkih spojeva ili drugih pokretnih dijelova, uglavnom zato što spoj za zavarivanje ima veliku pouzdanost brtvljenja.
U tvornici čipova postoje stotine kilometara cijevi povezanih za prijenos plina, koje su u osnovi dugačke oko 20 stopa i zavarene su zajedno. Neki zavoji cijevi i cjevasti zavareni spojevi također su vrlo česti.
5. Višenamjenska ventilska kutija (Valve Manifold Box, VMB) Definicija:
To je distribucija posebnih plinova od izvora plina do različitih dijelova opreme.
Unutarnja veličina cjevovoda: procesni cjevovod od 1/4 inča i cjevovod za pročišćavanje od 1/4 - 3/8 inča. Sustav može koristiti računalnu kontrolu kako bi zahtijevao aktivirane ventile ili jeftinije situacije s ručnim ventilima.
Proizvodi sustava: membranski ventili/ventili s mijehom visoke čistoće, povratni ventili, spojevi visoke čistoće (VCR, oblik za mikro zavarivanje), ventili za regulaciju tlaka, mjerači tlaka i mjerači tlaka, itd. Za distribuciju nekih inertnih plinova, ploča razvodnika ventila - Uglavnom se koristi VMP (multi-function valve disc) koji ima otvorenu površinu plinskog diska i ne zahtijeva dizajn zatvorenog prostora i dodatno pročišćavanje dušikom.
6. Ploča/kutija sekundarnog ventila (ploča za spajanje alata) Definicija:
Spojite plin potreban za poluvodičku opremu od izvora plina do kraja opreme i osigurajte odgovarajuću regulaciju tlaka. Ova ploča je sustav kontrole plina koji je bliži kraju opreme nego VMB (kutija s višenamjenskim ventilom).
Promjer plinovoda: 1/4 - 3/8 inča
Veličina cjevovoda za tekućinu: 1/2 - 1 inč
Veličina ispusnog cjevovoda: 1/2 - 1 inč
Glavni proizvodi: membranski ventil/ventil s mijehom, jednosmjerni ventil, ventil za regulaciju tlaka, manometar, manometar, spoj visoke čistoće (VCR, mikro-zavarivanje), spoj s ferulom, kuglasti ventil, crijevo itd.
Vrijeme objave: 22. studenoga 2024