As poluvodiči mikroelektroničke tehnologije razvijaju se prema većim performansama i većoj integraciji, a postavljaju se i veći zahtjevi na čistoću elektroničkih specijalnih plinova. Tehnologija plinovoda visoke čistoće važan je dio sustava opskrbe plinom visoke čistoće. To je ključna tehnologija za isporuku plinova visoke čistoće koji zadovoljavaju zahtjeve do mjesta korištenja plina, a istovremeno održavaju kvalificiranu kvalitetu.
Tehnologija cjevovoda visoke čistoće uključuje ispravan dizajn sustava, odabir cijevnih spojnica i pomoćnih materijala, izgradnju, ugradnju i ispitivanje.
01Opći koncept plinovoda za prijenos plina
Sve plinove visoke čistoće i čistoće potrebno je transportirati do terminalne plinske točke putem cjevovoda. Kako bi se zadovoljili zahtjevi kvalitete procesa za plin, kada je indeks izvoza plina siguran, potrebno je obratiti pozornost na odabir materijala i kvalitetu izrade cjevovodnog sustava. Osim točnosti opreme za proizvodnju ili pročišćavanje plina, na nju uvelike utječu mnogi čimbenici cjevovodnog sustava. Stoga se pri odabiru cijevi moraju pridržavati relevantnih načela industrije pročišćavanja i označiti materijal cijevi na crtežima.
02Značaj visokočistoćih plinovoda u transportu plina
Značaj cjevovoda visoke čistoće u transportu plina visoke čistoće Tijekom procesa taljenja nehrđajućeg čelika, svaka tona može apsorbirati oko 200 g plina. Nakon što se nehrđajući čelik obradi, ne samo da se razni zagađivači zadržavaju na njegovoj površini, već se i određena količina plina apsorbira u njegovu metalnu rešetku. Kada postoji protok zraka kroz cjevovod, dio plina koji je metal apsorbirao ponovno će ući u protok zraka i onečistiti čisti plin.
Kada je protok zraka u cijevi diskontinuiran, cijev stvara adsorpciju tlaka na plinu koji prolazi kroz nju. Kada protok zraka prestane prolaziti, plin adsorbiran u cijevi stvara analizu smanjenja tlaka, a analizirani plin također ulazi u čisti plin u cijevi kao nečistoća.
Istovremeno, ciklus adsorpcije i analize uzrokovat će da metal na unutarnjoj površini cijevi proizvodi određenu količinu praha. Ove čestice metalne prašine također zagađuju čisti plin u cijevi. Ova karakteristika cijevi je vrlo važna. Kako bi se osigurala čistoća transportiranog plina, ne samo da je potrebna izuzetno visoka glatkoća unutarnje površine cijevi, već i visoka otpornost na habanje.
Kada plin ima jaka korozivna svojstva, za cjevovode se moraju koristiti cijevi od nehrđajućeg čelika otporne na koroziju. U suprotnom, na unutarnjoj površini cijevi pojavit će se mrlje od korozije zbog korozije. U težim slučajevima, veliki komadi metala će se oljuštiti ili čak probušiti, čime će kontaminirati čisti plin koji se transportira.
03Materijal cijevi
Odabir materijala cijevi treba biti odabran prema potrebama upotrebe. Kvaliteta cijevi općenito se mjeri prema hrapavosti unutarnje površine cijevi. Što je hrapavost manja, to je manja vjerojatnost da će prenositi čestice. Općenito se dijele na tri vrste:
Jedan jeCijev EP klase 316L, koji je elektrolitički poliran (elektropoliranje). Otporan je na koroziju i ima nisku hrapavost površine. Rmax (maksimalna visina od vrha do dna) je oko 0,3 μm ili manje. Ima najveću ravnost i nije lako formirati mikrovrtložne struje. Uklonite kontaminirane čestice. Reakcijski plin koji se koristi u procesu treba dovoditi na ovoj razini.
Jedan jeBA stupanj 316Lcijev, koja je obrađena postupkom Bright Anneal i često se koristi za plinove koji su u kontaktu s čipom, ali ne sudjeluju u reakciji procesa, kao što su GN2 i CDA. Jedna je AP cijev (Annealing & Picking), koja nije posebno obrađena i općenito se koristi za dvostruke setove vanjskih cijevi koje se ne koriste kao dovodne cijevi plina.
04 Izgradnja cjevovoda
Obrada otvora cijevi jedna je od ključnih točaka ove građevinske tehnologije. Rezanje i prefabrikacija cjevovoda provode se u čistom okruženju, a istovremeno se osigurava da na površini cjevovoda prije rezanja nema štetnih tragova ili oštećenja. Pripreme za ispiranje dušikom u cjevovodu treba obaviti prije otvaranja cjevovoda. U principu, zavarivanje se koristi za spajanje visokočistih i visokokvalitetnih cjevovoda za prijenos i distribuciju plina s velikim protokom, ali izravno zavarivanje nije dopušteno. Treba koristiti spojeve kućišta, a materijal cijevi ne smije mijenjati strukturu tijekom zavarivanja. Ako se zavari materijal s previsokim udjelom ugljika, propusnost zraka zavarenog dijela uzrokovat će prodiranje plina unutar i izvan cijevi, uništavajući čistoću, suhoću i čistoću plina koji se prenosi, što će dovesti do ozbiljnih posljedica i utjecati na kvalitetu proizvodnje.
Ukratko, za plinovode visoke čistoće i posebne plinovode za prijenos, moraju se koristiti posebno obrađene cijevi od nehrđajućeg čelika visoke čistoće, što čini sustav plinovoda visoke čistoće (uključujući cjevovode, cijevne spojnice, ventile, VMB, VMP) vitalnom misijom u distribuciji plina visoke čistoće.
Vrijeme objave: 26. studenog 2024.