As poluvodiči mikroelektroničke tehnologije se razvijaju prema višim performansama i većoj integraciji, postavljaju se veći zahtjevi za čistoću elektroničkih specijalnih plinova. Tehnologija cjevovoda za plin visoke čistoće važan je dio sustava opskrbe plinom visoke čistoće. To je ključna tehnologija za isporuku plinova visoke čistoće koji ispunjavaju zahtjeve na mjestima korištenja plina, a istovremeno održavaju kvalificiranu kvalitetu.
Tehnologija cjevovoda visoke čistoće uključuje pravilno projektiranje sustava, odabir cijevnih spojnica i pomoćnih materijala, konstrukciju i montažu te ispitivanje.
01Opći koncept cjevovoda za prijenos plina
Sve plinove visoke čistoće i čistoće potrebno je transportirati do terminalne plinske točke kroz cjevovode. Kako bi se zadovoljili zahtjevi kvalitete procesa za plin, kada je indeks izvoza plina siguran, potrebno je obratiti pozornost na izbor materijala i kvalitetu konstrukcije cjevovodnog sustava. Osim točnosti opreme za proizvodnju ili pročišćavanje plina, na nju uvelike utječu mnogi čimbenici cjevovodnog sustava. Stoga se pri odabiru cijevi moraju pridržavati relevantnih industrijskih načela pročišćavanja i označiti materijal cijevi na crtežima.
02 Značenje cjevovoda visoke čistoće u transportu plina
Značaj cjevovoda visoke čistoće u transportu plina visoke čistoće Tijekom procesa taljenja nehrđajućeg čelika, svaka tona može apsorbirati oko 200 g plina. Nakon obrade nehrđajućeg čelika, ne samo da se različiti zagađivači zadržavaju na njegovoj površini, već se i određena količina plina apsorbira u njegovu metalnu rešetku. Kada strujanje zraka prolazi kroz cjevovod, dio plina koji je apsorbirao metal ponovno će ući u protok zraka i zagaditi čisti plin.
Kada je protok zraka u cijevi diskontinuiran, cijev stvara adsorpciju tlaka na plin koji prolazi kroz nju. Kada protok zraka prestane prolaziti, plin koji se apsorbira u cijevi čini analizu smanjenja tlaka, a analizirani plin također ulazi u čisti plin u cijevi kao nečistoća.
U isto vrijeme, ciklus adsorpcije i analize uzrokovat će metal na unutarnjoj površini cijevi da proizvede određenu količinu praha. Ova metalna čestica prašine također zagađuje čisti plin u cijevi. Ova karakteristika cijevi je vrlo važna. Kako bi se osigurala čistoća transportiranog plina, ne samo da je potrebna izuzetno visoka glatkoća unutarnje površine cijevi, već i visoka otpornost na trošenje.
Kada plin ima jaka korozivna svojstva, za cjevovode se moraju koristiti cijevi od nehrđajućeg čelika otporne na koroziju. Inače će se na unutarnjoj površini cijevi zbog korozije pojaviti mrlje od korozije. U teškim slučajevima, veliki komadi metala će se oljuštiti ili čak probušiti, zagađujući tako čisti plin koji se transportira.
03 Materijal cijevi
Izbor materijala cijevi treba odabrati prema potrebama uporabe. Kvaliteta cijevi općenito se mjeri prema hrapavosti unutarnje površine cijevi. Što je manja hrapavost, manja je vjerojatnost da će nositi čestice. Općenito podijeljeni u tri vrste:
Jedan jeCijev EP razreda 316L, koja je elektrolitički polirana (Electro-Polish). Otporan je na koroziju i ima nisku hrapavost površine. Rmax (maksimalna visina od vrha do doline) je oko 0,3 μm ili manje. Ima najveću ravnost i nije lako formirati mikrovrtložne struje. Uklonite kontaminirane čestice. Reakcijski plin koji se koristi u procesu trebao bi biti odveden na ovoj razini.
Jedan je aBA stupanj 316Lcijev, koja je tretirana Bright Annealom i često se koristi za plinove koji su u kontaktu s čipom, ali ne sudjeluju u reakciji procesa, kao što su GN2 i CDA. Jedna je AP cijev (Annealing & Picking), koja nije posebno tretirana i općenito se koristi za dvostruke setove vanjskih cijevi koje se ne koriste kao vodovi za opskrbu plinom.
04 Izgradnja cjevovoda
Obrada otvora cijevi jedna je od ključnih točaka ove građevinske tehnologije. Rezanje i montaža cjevovoda provodi se u čistom okruženju, a ujedno se osigurava da na površini cjevovoda prije rezanja nema štetnih tragova ili oštećenja. Prije otvaranja cjevovoda potrebno je izvršiti pripreme za ispiranje dušikom u cjevovodu. U načelu, zavarivanje se koristi za spajanje prijenosnih i distribucijskih plinovoda visoke čistoće i velike čistoće s velikim protokom, ali izravno zavarivanje nije dopušteno. Trebaju se koristiti spojevi kućišta, a korišteni materijal cijevi ne smije imati promjene u strukturi tijekom zavarivanja. Ako se zavari materijal s previsokim udjelom ugljika, propusnost zraka dijela za zavarivanje uzrokovat će prodiranje plina unutar i izvan cijevi jedan u drugi, uništavajući čistoću, suhoću i čistoću transportnog plina, što će dovesti do ozbiljnih posljedica i utjecati na kvalitetu proizvodnje.
Ukratko, za plin visoke čistoće i posebne cjevovode za prijenos plina mora se koristiti posebno obrađena cijev od nehrđajućeg čelika visoke čistoće, zbog čega cjevovodni sustav visoke čistoće (uključujući cjevovode, cijevne spojeve, ventile, VMB, VMP) zauzima puno prostora. vitalna misija u distribuciji plina visoke čistoće.
Vrijeme objave: 26. studenoga 2024